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空腔型压电单晶体声波谐振器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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空腔型压电单晶体声波谐振器及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种空腔型压电单晶体声波谐振器及其制备方法。所述空腔型压电单晶体声波谐振器包括衬底和压电单晶薄膜，所述压电单晶薄膜具有相背对的第一面和第二面，所述第一面、第二面分别设有第一电极、第二电极，所述第一面与衬底表面结合，所述衬底表面形成有相互连通的空气腔和排气沟道，所述第一电极设置于相应的空气腔内，所述排气沟道与设置于所述声波谐振器表面的开口连通。与现有技术相比，本发明避免了直接刻蚀化学性质稳定的压电单晶薄膜，降低了空腔型压电单晶体声波谐振器的制备难度，同时通过设置排气沟道辅助键合过程，可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114301406 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111638169.6 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人 苏州达波新材科技有限公司

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