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一种适用于微通道异质物检测的电阻抗层析成像传感器.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种适用于微通道异质物检测的电阻抗层析成像传感器.pdf

    本发明公开了一种适用于微通道异质物检测的电阻抗层析成像传感器，包括上层玻璃芯片、微流道载体硅片、下层玻璃芯片和流体管道接头，上层玻璃芯片和下层玻璃芯片对称键合连接在微流道载体硅片的上下两侧；微流道载体硅片上开设有长条孔，与上层玻璃芯片、下层玻璃芯片贴合形成微流道；上层玻璃芯片的内侧面设置有多个上层电极，下层玻璃芯片的内侧面设置多个下层电极，上层电极与下层电极形成双层电极阵列结构；上层玻璃芯片上安装两个流体管道接头，分别为进液接头和出液接头。本发明基于电阻抗层析成像技术，设计了一种微型双层电极阵列

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114295688 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111647600.3 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人 北京航空航天大学 地址

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