1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种半导体制造用智能自动清洗烘干装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.44万字
  • 约 22页
  • 2023-05-05 发布于四川
  • 举报

一种半导体制造用智能自动清洗烘干装置.pdf

    本发明涉及一种半导体制造用智能自动清洗烘干装置，包括框架(1)，安装到所述框架(1)上的下料机构(2)、烘干机构(3)、过滤板(4)、清洗箱(5)以及集水箱(6)，其中所述下料机构(2)用于固定硅片(100)并放入到所述清洗箱(5)中，所述过滤板(4)位于所述清洗箱(5)一侧，所述烘干机构(3)可移动至所述清洗箱(5)上部将所述下料机构(2)上的硅片(100)夹取移动至所述过滤板(4)上部，所述集水箱(6)位于所述过滤板(4)下部。本装置能够实现对硅片的清洗和烘干。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300387 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111624124.3 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 常州天曜智能装备有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >