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本申请公开了一种HDP‑CVD设备的控制方法、设备和存储介质,该方法包括:检测是否满足触发条件,该触发条件包括以下条件中的至少一种:HDP‑CVD设备中最近一次运行的任务和即将运行的任务不属于同一任务组;HDP‑CVD设备距离最近一次任务运行完成的时间超过预设时间;距离HDP‑CVD设备最近一次腔室清洁工艺之后运行的晶圆数量大于预设数量;当满足触发条件时,控制HDP‑CVD设备进行腔室清洁工艺;控制HDP‑CVD设备运行第一数量的废片晶圆;控制HDP‑CVD设备运行第二数量的目标晶圆,目标晶圆是
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114277361 A
(43)申请公布日 2022.04.05
(21)申请号 202111541480.9
(22)申请日 2021.12.16
(71)申请人 华虹半导体(无锡)有限公司
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