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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明提出了一种运料机构、清洗系统和片材的转运方法;运料机构包括至少一个存储装置、中转装置和翻转装置;存储装置位于第一工位,存储装置用于存放片材;中转装置位于第二工位,中转装置用于在存储装置中取放片材;翻转装置位于第三工位,翻转装置一方面用于承接中转装置中的片材,或转运片材至中转装置中,另一方面用于调整片材的放置方向;其中,第一工位、第二工位、第三工位依次设置。通过本申请提出的运料机构对片材转运,实现了片材的自动转运,进而可以提升运料机构对片材转运的自动化程度,节省了人力,保证了人身安全,也减少
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114300385 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111551430.9
(22)申请日 2021.12.17
(71)申请人 创微微电子(常州)有限公司
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