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晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法.pdf

    本发明提供了一种晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法，晶圆刷洗装置包括：刷洗部件，刷洗部件用于与晶圆表面接触，以对晶圆的表面进行刷洗；驱动部件，驱动部件与刷洗部件驱动连接，驱动部件的至少部分沿预设方向可移动地设置，以驱动刷洗部件沿预设方向移动；压力检测部件，刷洗部件和驱动部件均与压力检测部件配合，以通过压力检测部件检测刷洗部件与驱动部件之间的作用力。本发明的晶圆刷洗装置解决了现有技术中的晶圆刷洗装置对晶圆的刷洗效果不佳的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300388 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111633572.X (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司

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