一种高效CF显影液组合物.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种高效CF显影液组合物.pdf

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本发明公开了一种用于显示领域高世代线工艺的高效CF显影液组合物，通过添加特定的Gemini双子表面活性剂，有效促进了碱性基团与光阻分子均一稳定的作用，提高了显影精度。该显影液体系稳定性强，对显影后的光阻分子具有优异的溶解性。该显影液具有显影速度快、图形清晰精度好，CD值稳定，生产和使用温度范围宽，适用于目前高世代线的工艺。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114280900 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111595387.6 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人福建