一种基于有限元分析模型的惯性传感器修正的验证方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种基于有限元分析模型的惯性传感器修正的验证方法.pdf

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本发明提供了一种基于有限元分析模型的惯性传感器修正的验证方法，调整现有惯性传感器中的检验质量的尺寸和与电极板的间距，得到改进的惯性传感器；利用有限元分析模型，得到改进后的惯性传感器内的检验质量与电极板之间的电容有限元仿真值及静电力仿真值，以及改进后惯性传感器各器件之间形成的电容梯度；根据所述电容梯度，得到修正静电力；以便得到满足预设要求的惯性传感器来用于太空中的引力波检测。本发明的有益效果是：使得改进后的惯性传感器中的检验质量所受静电力减小，降低了通过注入电极对惯性传感器位置控制所施加的静电力要

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114297898 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111660360.0 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人中国地质大学（武汉）