高精度大口径光学元件装校面形在线检测装置和方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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高精度大口径光学元件装校面形在线检测装置和方法.pdf

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一种高精度大口径光学元件装校面形在线检测装置和方法，激光器产生的相干光通过扩束系统后产生平行光束照射到装校大口径光学元件上，反射后的光束经过聚焦透镜聚焦后利用分束器将光束分出两束，其中一束照射到一块编码板上，编码板的作用是对入射光场进行调制编码，用一台光斑探测器记录形成的散射斑。另外一束垂直方向光束进入另一台光斑探测器并记录一幅光斑，用于增加信息量从而提高计算检测精度。利用两台光斑探测器记录的光斑强度，采用迭代算法高精度重构出装校大口径光学元件的面型分布。该检测方法无需干涉光路，受环境影响较小，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114279684 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111505712.5 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究