晶圆加工设备.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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晶圆加工设备.pdf

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本发明提供了一种晶圆加工设备。该晶圆加工设备包括前端控制装置、装载装置、连接件和传输装置；前端控制装置通过连接件与装载装置连接，传输装置设置于装载装置远离连接件的一侧，传输装置的周向上排布有至少一个反应腔室，反应腔室用于加工晶圆，传输装置用于输送晶圆，装载装置用于暂存晶圆，连接件用于供晶圆通过。本发明的晶圆加工设备通过设置传输装置便于在装载装置、传输装置、反应腔室和前端控制装置之间输送晶圆。在传输装置的周向上排布有至少一个反应腔室，便于对晶圆进行加工处理。通过设置连接件调整传输装置与前端控制装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334766 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111632328.1 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人拓荆科技股份有限公司