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本发明提供一种薄膜厚度提取方法及系统，该方法包括：获取待测样件的测量光谱；确定样件膜系结构和每一层膜的光学常数；通过参数分离对正向模型进行分解，离线进行薄膜厚度无关的矩阵相乘运算；在线进行薄膜厚度相关的矩阵运算，得到仿真光谱；通过库匹配或非线性回归调整待测参数取值，直至仿真光谱与测量光谱匹配，得到待测薄膜厚度取值。通过该方案可以减少正向建模过程中的运算量，提高正向建模效率，进而提高薄膜厚度提取效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114383516 A
(43)申请公布日 2022.04.22
(21)申请号 202111479093.7
(22)申请日 2021.12.06
(71)申请人 武汉颐光科技有限公司
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