一种光刻胶涂布装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种光刻胶涂布装置及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种光刻胶涂布装置及其使用方法，包括安装架主体，所述安装架主体的外壁固定连接有固定架，所述固定架的内壁固定连接有储胶罐，所述储胶罐的底部设置有喷胶口，所述储胶罐的一侧外壁固定连接有第二安装柜，所述第二安装柜的内壁设置有传动机构；本发明当加工基板到达喷胶口的底部时，喷胶口开始向加工基板进行喷洒光刻胶，加工基板继续移动，此时启动第一电机，第一电机带动第一连接杆转动，第一连接杆带动第一齿轮转动，第一齿轮带动第二齿轮转动，活动块随着齿链向下运动，带动刮刀靠近加工基板表面，根据所需求的不同厚度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114371600 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202111624429.4 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人沧州信联化工有限公司