具有冷却系统的快速热处理系统.pdfVIP

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2023-05-07 发布于四川
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具有冷却系统的快速热处理系统.pdf

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本公开提供了用于处理工件的装置、系统和方法。在一个示例中，这种用于进行尖峰退火快速热处理的方法可以包括控制热源开始加热支撑在处理腔室中的工件支撑件上的工件。该方法还可以包括接收指示工件温度的数据。此外，该方法可以包括监测工件相对于温度设定点的温度。此外，该方法可以包括至少部分地基于工件达到温度设定点而控制热源停止加热工件。此外，该方法可以包括至少部分地基于工件达到温度设定点而控制冷却系统开始使冷却气体以约300slm或更大的速率流过工件以减小工件的t50峰宽。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114402425 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202180003802.6 斯克 ·哈姆　迪特尔 ·赫兹勒　 (22)申请日