用于在金属表面上产生抗蚀刻图案的方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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用于在金属表面上产生抗蚀刻图案的方法.pdf

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提供了在衬底上形成金属图案的方法。该方法包括向金属表面上施加具有使金属表面化学地活化的活化剂的化学表面活化溶液；在活化的表面上非击打式印刷抗蚀刻油墨以根据预定图案产生抗蚀刻掩模，其中抗蚀刻油墨内的至少一种油墨组分与活化的金属表面经历化学反应以当击中活化的表面时固定抗蚀刻油墨的液滴；进行蚀刻工艺以除去未被抗蚀刻掩模覆盖的未掩蔽的金属部分；和除去抗蚀刻掩模。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114397795 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202111517002.4 H05K 3/06 (2006.01) (22)申请日 20