用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法及装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法及装置.pdf

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本申请公开了一种用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法及装置，该方法包括：周期性获取半导体制造设备监控显示界面的图像并识别；当识别到所述半导体制造设备监控显示界面上显示错误提示图像时，分析所述错误提示图像得到分析结果；根据所述分析结果从数据库中对比查找与所述错误提示图像相匹配的库存图像；根据所述匹配的库存图像，运行存储于所述数据库中的对应设备停运时恢复运行操作方法的操作指令。本申请的方法能够自动恢复半导体制造设备的运行，减少了人工参与，降低了人力劳动强度，大大提高了停运解决效率，提高了工作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114429614 A (43)申请公布日 2022.05.03 (21)申请号 202011185764.4 G07C 3/00 (2006.01)