一种提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法.pdf

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本发明提供一种提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法，其包括对镁锂合金基底预处理及在镁锂合金基底上制备类金刚石碳膜。主要工艺步骤：(1)将镁锂合金板材制成标准试样；(2)试样经砂纸打磨、抛光机抛光后，表面呈现镜面效果，再经去离子水、无水乙醇超声清洗，干燥后放入真空室；(3)达到本底真空度后，通入工作气体氩气(Ar)和氢气(H2)，在激励电场作用下激发成等离子态，然后在偏压条件下对镁锂合金表面进行刻蚀，构造微粗糙表面；(4)通入反应气体乙炔(C2H2)和四甲基硅烷(TMS)，沉积硅掺杂类金刚石

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114411123 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210069148.5 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人佳木