一种利用三氯化铈细化电沉积铜晶粒的方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种利用三氯化铈细化电沉积铜晶粒的方法.pdf

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本发明公开了一种利用三氯化铈细化电沉积铜晶粒的方法，涉及电沉积铜技术领域，所述的方法，步骤如下：S1.沉积溶液配制：在工业生产用电解液中加入三氯化铈，搅拌溶解，制得沉积溶液；S2.阴极试片处理：将阴极试片进行超声清洗、第一次冲洗、稀盐酸活化、第二次冲洗、吹干，制得处理后的阴极试片；S3.电沉积：将沉积溶液加入到电沉积槽，进行加热，放入处理后的阴极试片、阳极试片，连接电源，通电进行电沉积，制得电沉积后的阴极试片；S4.阴极试片后处理：将电沉积后的阴极试片进行冲洗、吹干、密封，制得镀铜阴极试片；所述

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481220 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111601106.3 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人兰州理工大学白银新材料研究院地址