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- 2023-05-09 发布于四川
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本发明涉及轮廓的计量技术领域,特别是涉及一种自动多重曝光方法。所述方法包括:S100,获取光条质量评价权重S;S200,获取max(S)对应的光条的平均亮度直方图H;S300,如果M=1,则将max(S)对应的光条中的所有列作为1类;如果M≥2,则将max(S)对应的光条中的列进行划分,得到C;S400,对于任一类,如果ΔV≤V0,则不对该类进行划分;否则,则将该类划分为Q个簇;S500,获取划分得到的任一簇以及未被划分的任一类对应的最优曝光时间;S600,将划分得到的各簇和未被划分的各类对应于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116074633 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202310205883.9
(22)申请日 2023.03.06
(71)申请人 宜科(天津)电子有限公司
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