一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法.pdf

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本发明涉及涂胶显影机技术领域，且公开了一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法，解决了现有的涂胶显影机自动化程度低，每次硅片的取放都很麻烦，功能比较单一，涂胶时，效率较为低下，不便于实际操作的问题，其包括控制箱，所述控制箱的上方设有若干旋转盘，旋转盘的顶部开设有放置槽，控制箱的顶部固定连接有两个侧板，控制箱的上方设有两个固定座，固定座的下方设有涂胶器本体，涂胶器本体和固定座通过液压伸缩缸连接，两个侧板之间设有与固定座相配合的驱动组件，控制箱内设有若干第一转轴；硅片自身旋转，进而使得涂胶更加平整均匀，提

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114496856 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210104153.5 (22)申请日 2022.01.28 (71)申请人江西维易尔半导体设备有限公司地址