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本发明提供了一种基于柔性触觉电容的三维压力传感器,其球形接触端头位于柔性上部基底的上方,所述电容上部电极层、极间介质层、电容下部电极层、柔性下部基底层从上到下依次位于三维压力传感器柔性上部基底的下方,所述电容上部电极层位于三维压力传感器柔性上部基底层的下表面,所述韧性支撑圆柱、韧性支撑垫片与极间介质层处于同层、共同构成柔性支架层,其排布为韧性支撑圆柱位于极间介质层四顶角处的间隙区域内,韧性支撑垫片位于极间介质层中心处的间隙区域内;所述传感器可以分别感知施加的法向力、剪切力和拉力,实现较大维度的压
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114486046 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111591586.X
(22)申请日 2021.12.23
(71)申请人 天津大学
地址 300072 天津
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