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本发明公开了一种声表面波器件及其制备方法。所述声表面波器件包括第一压电层，所述第一压电层的表面分布有输入区和输出区，所述输入区内设置有输入叉指换能器，所述输出区内设置有输出叉指换能器，所述输入叉指换能器与输出叉指换能器通过传输通道配合，所述传输通道包括第二压电层，所述第二压电层设置在凹槽结构内，所述凹槽结构开设于第一压电层的表面并分布于输入区和输出区之间；所述第一压电层、第二压电层由III族氮化物形成。本发明以氮化铝作为主要的声表面波材料，同时在氮化铝上形成高质量的氮化镓作为传输通道，大大减少了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114499443 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202210109625.6 H03H 3/08 (2006.01)
(22)申请日 2022.01.2
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