一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途.pdf

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本发明提供一种低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，按重量百分比包括如下组分：糖类0.1%‑10%、醇类0.001%‑1%、缓蚀剂0.001%‑1%，分散剂0.05%‑5%、无机盐0.01%‑1%、表面活性剂0.001%‑0.5%、碱0.01%‑1%，余量为水。本发明利用低减重单晶硅片制绒添加剂在单晶硅表面制绒。利用本发明制备的低减重单晶硅片制绒添加剂在单晶硅表面制绒时，减重小，后续高温工序不易出现弓片，有利于薄片和大尺寸单晶硅片的推广；减重低，对应碱的耗量低，可以降低成本；减重低，反应产物硅酸

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481332 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210097320.8 (22)申请日 2022.01.27 (71)申请人江苏捷捷半导体新材料有限公司地址