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- 2023-05-10 发布于四川
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本申请实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统。该漏率检测系统的冷却腔室内形成有冷却腔，冷却装置与冷却腔室连接，用于调节冷却腔内的温度以模拟工艺腔室的工艺环境；冷却腔室上开设有多个连通口，用于使冷却腔能与密封波纹管的内部空间密封连通；检测腔室内形成有多个与连通口一一对应设置的容置腔，并且容置腔与连通口密封连接，容置腔用于容置并限位密封波纹管；检测抽气组件与冷却腔连通，用于对冷却腔抽真空，以及根据冷却腔内的检测气体含量，判断密封波纹管是否发生泄露。本申请实施例实现了对多个密封波纹管的批量检测，而且
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518204 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202210318509.5
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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