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硅棒截断设备及硅棒截断方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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硅棒截断设备及硅棒截断方法.pdf

    本申请公开一种硅棒截断设备及硅棒截断方法，该硅棒截断设备包括机座、物料输送台、以及至少两个线切割装置，该至少两个线切割装置相互独立，故可通过各个独立的线切割装置对物料输送台上承载的待硅棒执行截断作业，提高了硅棒截断作业中的操作自由度和截断效率。该线切割装置中的线切割单元采用的闭环切割线，故可保持切割线高速运行，提高切割效率，同时，闭环切割线在截断作业中可以同一运转方向运行，如此，本申请的线切割单元可实现高精度的截断作业，避免了现有的切割方式中切割线运行换向或运行速度导致的切割面具有波纹等问题，同

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114516125 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011467695.6 (22)申请日 2020.12.14 (66)本国优先权数据

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