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静电吸盘及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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静电吸盘及其制造方法.pdf

    一种构造E‑吸盘的方法包括：将至少一个沟槽形成到下基底中；将电极材料沉积到下基底上和至少一个沟槽中；从下基底去除多余的电极材料以在至少一个沟槽中留下电极材料从而形成电极；以及在下基底和电极上形成电介质，使得电极在下基底与上基底之间。将至少一个沟槽形成到下基底中形成了与至少一个沟槽相邻的至少一个支座部分，并且至少一个支座部分减少了从下基底去除多余的电极材料期间电极材料的表面凹陷。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114521289 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202080070187.6 凯文 ·帕塔斯恩斯基　 (22)申请日 2020.09.09

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