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一种边缘环组件、边缘环更换方法以及静电卡盘.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种边缘环组件、边缘环更换方法以及静电卡盘.pdf

    本发明公开了一种边缘环组件、边缘环更换方法以及静电卡盘，属于半导体制造技术领域，用以解决现有技术中边缘环的维修和养护的操作复杂、耗时长的问题。本发明的边缘环组件，包括多个沿轴向堆叠的边缘环、驱动边缘环沿轴向运动的升降组件以及用于移动顶部的边缘环的机械手。本发明的边缘环更换方法为开启升降组件，升降组件驱动多个边缘环向上运动，顶部的边缘环移出晶圆制造区域，机械手将顶部的边缘环移至反应室外，位于顶部的边缘环下方且与顶部边缘环相邻的边缘环进入晶圆制造区域，作为新的边缘环，从而完成边缘环的更换。本发明的边

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520178 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011293552.8 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 10

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