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电子放射源的动作控制方法、电子射束描绘方法和电子射束描绘装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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电子放射源的动作控制方法、电子射束描绘方法和电子射束描绘装置.pdf

    本发明的一个方式的电子放射源的动作控制方法的特征在于，具备如下步骤：一边改变电子射束的发射电流，一边取得被电子射束照射的试样面位置处的试样面电流与发射电流之间的特性；根据特性计算特性中的规定范围内的、相对于发射电流的试样面电流除以发射电流而得到的第一斜率值；计算电子射束已被调整的状态的试样面电流除以发射电流而得到的第二斜率值；以使电子射束已被调整的状态下的第二斜率值在规定范围的第一斜率值的范围内的方式对阴极温度进行调整。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114518697 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111375342.8 (22)申请日 2021.11.19 (30)优先权数据 2020-192571 202

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