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一种高精度石墨烯超低温温度传感器.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种高精度石墨烯超低温温度传感器.pdf

    本发明属于温度传感器技术领域，具体涉及一种高精度石墨烯超低温温度传感器，包括基板、专用集成电路、衬底、温度敏感层、引线，所述专用集成电路设置在基板上，所述衬底设置在专用集成电路上，所述温度敏感层设置在衬底上，所述温度敏感层电性连接有叉指电极，所述叉指电极设置在温度敏感层上，所述叉指电极通过引线与专用集成电路电性连接。本发明在原有电阻式温度传感器基础上，利用包含具有优良特性的新材料石墨烯，相比于传统金属或半导体作为温敏材料，在小体积的前提下，极大的提高了电阻式温度传感器的灵敏度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114518179 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210124568.9 (22)申请日 2022.02.10 (71)申请人 中北大学 地址 030051 山西

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