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压印模具的制造方法、压印模具、模具坯料、及光学元件的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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压印模具的制造方法、压印模具、模具坯料、及光学元件的制造方法.pdf

    本发明提供压印模具(1)及其相关技术，该压印模具(1)具有构成给定的模具图案的多个凹部(1c)，其中，在基板(2)上具有包含多个模具基材层(4)、和介于该模具基材层(4)之间的蚀刻停止层(3)的层叠体，层叠体具有深度互不相同的多个凹部(1c)，模具基材层(4)和蚀刻停止层(3)由相互具有蚀刻选择性的材料形成，多个凹部(1c)分别具有蚀刻停止层(3)露出而成的底面。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114521286 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202080067642.7 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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