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改善WAT测试精度的测试单元及其测试方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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改善WAT测试精度的测试单元及其测试方法.pdf

    本发明提供一种改善WAT测试精度的测试单元及其测试方法，所述改善WAT测试精度的测试单元包括：MOS晶体管区，包括N个特征尺寸相同的MOS晶体管；金属区，位于MOS晶体管区上方；互连金属线，用于将MOS晶体管与金属区连接，使得N个MOS晶体管以并联的形式连接。本发明在不改变现有的测试硬件条件下，能够有效的解决测试机台及针卡在测试MOS晶体管漏电流时精度不足的问题，以便精确，高效的测试出MOS晶体管漏电流；测试过程方便简洁，并且可以降低测试成本，有利于本发明的应用与推广；本发明针对小尺寸MOS晶体

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114509657 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210401025.7 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人 广州粤芯半导体技术有限公司 地址

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