用于处理基板的装置和联接支撑单元的方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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用于处理基板的装置和联接支撑单元的方法.pdf

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本发明提供一种处理基板的装置，包括：处理腔室，其包括彼此结合以在其中形成用于处理基板的处理空间的第一主体和第二主体；驱动器，其将处理腔室移动至打开位置或关闭位置；支撑单元，其在处理空间内支撑基板；和流体供应单元，其向处理空间供应流体，其中支撑单元包括：支撑销，其联接至第一主体或第二主体；和引导构件，其联接至支撑销并且沿支撑销的侧向方向延伸以支撑基板。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551290 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202111403535.X (22)申请日 2021.11.24 (30)优先权数据 10-2020-0159562