在基板上进行微芯片的流体组装的装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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在基板上进行微芯片的流体组装的装置和方法.pdf

本说明书涉及一种在基板(150)上进行微芯片(140)的流体组装的单元(110),包括:基部(111),其上表面用于接收所述基板(150);主体(113),在所述基板(150)上方横向界定流体室(120);和盖子(115),从上表面封闭所述流体室(120),其中所述主体(113)包括分别出现在所述流体室(120)的相对的第一横向边缘和第二横向边缘上的第一喷嘴(117)和第二喷嘴(119),所述第一喷嘴(117)和所述第二喷嘴(119)中的每一个适于在平行于所述基板的平均平面的方向上将微芯片(14

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114515609 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111386559.9 (22)申请日 2021.11.22 (30)优先权数据 20/11965 2020.1

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