包括在导芯上具有导体填充沟槽的基板的光学设备.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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包括在导芯上具有导体填充沟槽的基板的光学设备.pdf

一种光学设备可以包括基板,该基板包括导芯、在导芯的第一表面上的第一叠层、穿过第一叠层延伸到导芯使得导体填充沟槽在导芯的第一表面上的导体填充沟槽、以及在导芯的第二表面上的第二叠层。光学设备可以包括在导体填充沟槽上方的垂直腔发射激光器(VCSEL)芯片。VCSEL芯片可以包括VCSEL阵列。导体填充沟槽的尺寸可以匹配VCSEL芯片的尺寸,匹配VCSEL阵列的发射区域的尺寸,或者大于VCSEL阵列的发射区域的尺寸并且小于VCSEL芯片的尺寸。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520460 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111401622.1 H01S 5/02345 (2021.01)

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