一种靶材用铝合金背板及其加工方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种靶材用铝合金背板及其加工方法.pdf

本发明提供了一种靶材用铝合金背板及其加工方法,涉及靶材背板制备技术领域。本发明提供的靶材用铝合金背板的加工方法包括以下步骤:(1)铝合金铸锭固溶、淬火前处理;(2)锻造处理;(3)双级时效处理;(4)机加工处理。本发明通过采用固溶→低温锻造→双级时效处理的工艺步骤,直接对铸锭固溶,而不是对热加工坯料固溶,且在540‑550℃保温3‑5h,可同时起到固溶、元素均匀化和防止淬火变形的作用,采用本发明技术方案制备的铝合金背板,具有良好的强度和电导率,其抗弯强度≥500Mpa,电导率≥30MS/M。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114517256 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210228663.3 (22)申请日 2022.03.08 (71)申请人 先导薄膜材料有限公司 地址 230

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