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- 2023-05-10 发布于四川
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一种全视场径向剪切微分干涉相衬成像装置和成像方法，装置包括激光光源，沿该激光光源的激光输出方向依次设置扩束准直透镜、待测物体平台、双焦光子筛系统和光电探测器，所述的光电探测器的输出端与计算机的输入端相连。本发明不仅可以实现全视场高质量的干涉相衬成像，而且满足非相干光源干涉相衬成像。具有易于搭建，成像质量清晰准确的特点。该技术有可能实现超大规模集成电路、等离子体和活细胞在极紫外和软X射线波段的高质量成像。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518328 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202210112619.6
(22)申请日 2022.01.29
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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