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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明公开了一种具有去气泡功能的半导体药液的配送系统,包括底座和接收桶,所述底座的上部四角位置均安装有支柱,所述配药桶的顶部安装有顶阀,所述配药桶的后部连接有输出管一,所述输出管一的一端连接有输出管二、所述输出管二的外部连接有输出管三,所述输出管三的一端连接有预混结构,所述接收桶的外部安装有排出管,且接收桶的顶部设有消泡器,所述顶板的顶部设有进排风结构;本发明的各项药剂能够被动混合,在配送的过程中具备混合功能,使得进入接收桶内的药液不会出现分层、分堆的现象,无需借用外部装置进行混合,提高了整个配
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114515522 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202210115983.8 B01F 35/11 (2022.01)
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