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本公开提供一种定位装置及方法，装置包括：采集模块(A)，用于产生照明光；调光模块(B)，用于对照明光进行分束，产生基准光和测量光；传感模块(C)，包括参考反射器(4)和测量反射器(5)，参考反射器(4)被配置成设于待测装置的固定基座上，以用于反射基准光，得到基准反射光，测量反射器(5)被配置成设于待测装置的移动部件上，以用于反射测量光，得到测量反射光；其中，调光模块(B)还用于对基准反射光与测量反射光进行合束，得到合束光；采集模块(A)还用于测量合束光的光谱数据，并输出光谱数据来定位移动部件。本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116067274 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202111297141.0
(22)申请日 2021.11.03
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 1
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