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本发明提供一种宽带薄膜体声波谐振器的制备方法，包括以下步骤：取一衬底，涂胶曝光清洗后在其上表面刻蚀凹槽；采用牺牲层填平凹槽；进一步在凹槽上方沉积底电极；在底电极上方沉积复合压电薄膜；在复合压电薄膜上方沉积顶电极；通过释放孔湿法腐蚀去除牺牲层。该谐振器按照从上向下的顺序依次包括顶电极、复合压电薄膜、底电极和衬底；所述顶电极、所述复合压电薄膜和所述底电极构成三明治结构；所述底电极和所述衬底之间形成有空气隙；所述复合压电薄膜为若干层压电层叠加组成。本发明通过复合压电薄膜的结构和特殊空气隙的结合设计，制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114531126 A
(43)申请公布日 2022.05.24
(21)申请号 202111664278.5
(22)申请日 2021.12.31
(71)申请人 河源市艾佛光通科技有限公司
地址
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