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本发明涉及半导体光电器件技术领域，具体涉及一种无需滤波器的金刚石深紫外窄带光电探测器及方法。本发明提供了一种基于高质量金刚石的无滤波深紫外窄带光电探测器，该光电探测器从上而下依次由Pt层、金刚石层、Pt层和蒸镀有Au金属的玻璃基板组成。本发明采用高迁移率、较少陷阱能态的高质量金刚石作为探测器主体，从而制得高比探测率和大线性动态范围的金刚石光电探测器，其在深紫外波段具有优异的窄带响应性能且能够准确辨别不同深紫外光，可进一步制备基于高质量金刚石的面阵窄带探测器，有望用于复杂环境中对特定波长光源的紫外
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116093178 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202310030777.1
(22)申请日 2023.01.10
(71)申请人 中山大学
地址 510000
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