过滤阴极电弧法制备的高性能透明导电薄膜.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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过滤阴极电弧法制备的高性能透明导电薄膜.pdf

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本发明涉及显示材料技术领域，且公开了一种过滤阴极电弧法制备的高性能透明导电薄膜，过滤阴极电弧法具有高沉积速率和高离子能量的优点，可以制备高结晶质量、高致密度、优异光电性能和化学稳定性的透明导电薄膜，本发明公开了用FCAD制备高性能ZnO和SnO2基透明导电薄膜和薄膜晶体管的技术。首先，公开了一种高性能ZnOTFT的制备方法，其有源层和电极层分别采用以FCAD在低温制备的ZnO和AlZnO薄膜；其次，公开了几种SnO2基TFTs的制备工艺，其有源层可分别采用FCAD在低温制备的高阻SnO2、Sb或

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566543 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210190914.3 H01L 21/34 (2006.01)