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本发明涉及一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，解决CIGS共蒸法卷在高温、高腐蚀的非可视生产环境下，输送辊的异常会影响镀膜质量，且难以及时发现的问题。本装置包括真空腔，真空腔内设置放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送基底卷材，所述放卷轴和收卷轴之间设有若干输送辊，每一个输送辊的端部均沿轴向突出设置有半轴，所述半轴环周的一段是与输送辊同轴线的半径为R的圆柱面，半轴环周的其他位置与轴线的距离小于R，所述半轴一侧设有顶针，所述顶针的尖端与输送辊轴线距离为R。本发明通过半轴、顶针的配合结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112663019 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011592354.1 H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日 2
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