U型金属丝谐振式粘度传感器.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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U型金属丝谐振式粘度传感器.pdf

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本发明提出了一种U型金属丝谐振式MEMS粘度传感器，包括U型金属丝谐振敏感元件、频率信号发生器模块、阻抗测量模块以及微控制器模块，U型金属丝作为传感器的敏感元件，置于平行放置的两块圆形强力永久磁铁之间的磁场中，与该两块强力永久磁铁以及支撑构件组成的一体式结构，微控制器控制频率信号发生器模块产生扫频信号，激励U型金属丝在被测液体中产生稳定振动，利用阻抗测量模块检测各扫频信号激励下，置于被测液体中U型金属丝的阻抗，寻找谐振频率点，再通过U型金属丝在谐振频率点的阻抗变化量计算被测液体的粘度，本发明具有

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563309 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210067467.2 (22)申请日 2022.01.20 (71)申请人哈尔滨工业大学（威海）地址 26