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一种低压MEMS压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种低压MEMS压力传感器及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种低压MEMS压力传感器及其制备方法，传感器包括：器件层以及键合连接在其相对两侧的第一支撑层和第二支撑层；器件层靠近所述第一支撑层一侧表面刻蚀有第一腔体，第二支撑层靠近器件层一侧表面刻蚀有第二腔体；第一腔体和所述第二腔体之间的器件层作为应变薄膜层；应变薄膜层靠近第二支撑层的一侧表面设置有压敏组件，器件层靠近第二支撑层的一侧，围绕惠斯通电桥部件的边缘外围设置有闭环的第二导电条，第二导电条与惠斯通电桥部件之间通过沟槽间隔开，惠斯通电桥部件的电源端与第二导电条电连接。本结构减小了应力对应

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114577390 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210201554.2 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人 苏州跃芯微传感技术

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