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- 2023-05-11 发布于四川
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本申请涉及一种电子晶圆检测用清洗装置，涉及晶圆检测领域，其包括基台，基台上设有用于晶圆安装的支撑组件，基台上设有驱动晶圆转动的转动组件，基台上固定连接有支撑架，支撑架上设有用于清洗晶圆的喷淋组件，喷淋组件包括固定连接在支撑架上的固定盘、滑动连接在固定盘上的滑块和连接在滑块上的喷嘴，支撑架上设有驱动滑块沿晶圆半径方向滑动的驱动组件。本申请具有提高对晶圆清洗的均匀性和彻底性，从而提高晶圆后续测验数据的准确性的效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114570696 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210213370.8
(22)申请日 2022.03.05
(71)申请人 江阴佳泰电子科技有限公司
地址 2
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