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垂直腔面发射激光器及具有其的电子设备、制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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垂直腔面发射激光器及具有其的电子设备、制造方法.pdf

    本公开提供了一种垂直腔面发射激光器及具有其的电子设备、制造方法，该垂直腔面发射激光器包括衬底层、第一电极层、第一反射器层、发光层、第二反射器层、第二电极层和钝化层，其中钝化层上设置有刻蚀区域和未刻蚀区域，刻蚀区域的中心位置与发光层中氧化孔径中心的位置相对应，刻蚀区域的厚度不等于激光出射半波长的整数倍，未刻蚀区域的厚度等于激光出射半波长的整数倍。由于光链路系统的反射光一般从氧化孔径中心入射到激光器，对基横模影响较大，并影响了模式分布及噪声，导致系统整体稳定性下降，而本公开中由于垂直腔面发射激光器的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114583550 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210218793.9 (22)申请日 2022.03.02 (71)申请人 深圳博升光电科技有限公司 地址 5

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