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晶圆传输装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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晶圆传输装置和方法.pdf

    本申请公开一种晶圆传输装置和方法，晶圆传输装置包括：机械手、控制器、至少一组压力传感器和校正平台；机械手包括承载盘，承载盘的表面设有多条凹槽，每条凹槽均关于承载盘的中心轴对称，凹槽用于在承载盘承载晶圆时，形成吸附空间；每组压力传感器均包括两个传感器单元，两个传感器单元分别设于同一条凹槽的同一个侧墙顶部，且关于中心轴对称，用于在机械手承载有晶圆时，测量晶圆在对应测量点承受的压力信息，将压力信息传输至控制器；控制器用于在至少一组压力传感器测量的压力信息不匹配时，控制机械手将承载的晶圆传回校正平台，并

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582771 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210172919.3 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人 北京北方华创微电子

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