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2023-05-11 发布于四川
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本公开实施例提供了一种柔性传感器，其中，包括：柔性基板；多个超声波检测器，位于柔性基板之上；多个检测电路，分别与各超声波检测器对应；检测电路位于柔性基板与对应的超声波检测器之间，被配置为驱动超声波检测器发射超声波，并检测超声波检测器接收到超声波后输出的检测信号；超声波检测器，包括：与检测电路耦接的第一电极，位于第一电极背离柔性基板一侧的第二电极，以及位于第一电极与第二电极之间的压电感应层；在各检测电路以外的区域中设有多个开孔；开孔贯穿检测电路中的至少部分膜层。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114585891 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080002134.0 (74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理