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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：通过电源调制信号对刻蚀电源信号进行调幅得到刻蚀调幅信号；获取光谱仪采集的基于等离子体刻蚀样品生成的光谱信号；其中，等离子体由刻蚀工艺系统基于刻蚀调幅信号加载生成；通过电源调制信号对光谱信号进行混频滤波处理；根据经过混频滤波处理的光谱信号检测刻蚀终点。本发明可以有效检测出不同膜层结构中所含有的元素成分，从而实现高精度的脉冲刻蚀终点检测及控制。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114582699 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210203194.X
(22)申请日 2022.03.02
(71)申请人 北京航空航天大学
地址 10019
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