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本发明涉及真空泵领域，具体的说是行星减速传动往复真空泵，通过内置的行星减速组件，可降低真空泵内置动力轴的转速，通过分流仓的分流导向作用，可根据真空泵的实际使用场合，将所需抽取的气体进行分类净化处理，设置的双层过滤棉可对气流中可能存在的灰尘进行吸附隔挡，弯曲设置的过滤网在对过滤棉进行辅助支撑的同时，可增大双层过滤棉之间的间隙，提升气流的通过流速以及对灰尘的收集空间，且弯曲设置的过滤网还可增大对灰尘的粘附面积，延长其使用时长，提升抽真空作业的效率。通过双工位设置的气仓，可削减气体输送过程中的杂质浓度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116085227 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202310366866.3 F04B 39/06 (2006.01)
(22)申请日 2023.04.
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