一种槽型分裂栅集成沟道二极管的MOSFET器件.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种槽型分裂栅集成沟道二极管的MOSFET器件.pdf

本发明涉及一种槽型分裂栅集成沟道二极管的MOSFET器件,属于MOSFET器件技术领域。本发明公开了一种槽型分裂栅集成沟道二极管的MOSFET器件,通过在栅极下表面引入分裂栅和沟道MOS二极管:分裂栅屏蔽了栅极与漏极的耦合面积,大幅降低了器件的反馈电容和栅极电荷,提高器件的开关速度;与此同时,在反向恢复时,沟道二极管抑制了寄生PN结二极管的开启,大幅降低了寄生PN结二极管空穴的注入效率,从而降低了反向恢复电荷、反向峰值电流和反向恢复时间,最终改善了器件的反向恢复性能。因此,本发明的槽型分裂栅集成

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582976 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210198141.3 (22)申请日 2022.03.02 (71)申请人 重庆邮电大学 地址 400065

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